该起沉机是满足新出产工艺的具备自动、干净、防爆职能的起沉机
。使用环境为半导体资料车间，无尘化设计，空气清洁度等级为4级(国标7级)（即每立方米内0.1μm大幼的颗粒物不大于10000个）
。同时该车间内存在易燃易爆气体，起沉机防爆等级dIICT4
。

　　该起沉机选取中控室推算机自动节造，可将还原炉和硅棒工具从还原炉平台、洗濯平台、中转平台、拆棒工具等地位之间凭据设定工作路线自动运行
。

　　起沉机选取轻量化、免守护设计，同时大量利用防静电、耐磨耐侵蚀资料，车轮选取不锈钢资料，轨路两侧设不锈钢槽，减速器选取全封关、高密封绝无渗漏油传染，高防护等级无电扇防爆电机，双密封造动器能有效预防电机内因传动磨损产生传染颗粒表泄
。大车车轮组全封关设计，不锈钢车轮，表表高防锈处置的其他零部件能够有效预防金属资料锈蚀传染，自光滑全密封轴承预防光滑传染
。

　　大、幼车运行机构选取激光条码定位，幼车激光条码定位阅读器装置在幼车上，条码带装置在大车主梁腹板上
。大车定位激光定位阅读器装置在端梁上，条码带装置在网络粉屑的U型槽上
。

　　行车节造拥有两种运行模式：

　
。1）自动运行模式：

　　现场工作人员必要起吊作业时，通过防爆？仄靼殉衷谙殖〗蹙呤侄夜，实现后通过防爆？仄餮≡裣嘤Φ闹澳，实现后通过声光报警提醒起头运行
。运行关键点由现场操作人员用防爆？仄魅啡虾，起沉机依照预先设定的蹊径自动地达到指标地位正上方，起吊还原炉或卸棒工具的作为，作为实现之后，报警并提醒作为已实现
。

　　在运行的过程中，如发现问题可选择暂停，待问题排除之后，按就持续按钮即可持续执行
。在出现垂危故障时，可通过选择？仄鞯募蓖０磁ゴ刮Ｖ粘∩璞傅脑诵，预防出现故障
。

　
。2）手动运行模式

　　将防爆节造柜的选择开关旋转至“手动”节造模式，现场工作人员能够通过防爆按钮现场操作起沉机进行手动操作，节造各个机构的手动运行
。？亟谠旌褪直谠熘浠ニ，同时只能选取一种节造方式
。